제품소개
제품소개HIGH TEMP GATE VALVE
제품적용
- Wafer transfer
gate valve
- Valve 내벽 powder 생성 방지
- 반도체 , FPD, etc
제품사양
- Shaft 구동:
High temp pneumatic
- Working pressure
: 1mtorr ~ ATM
(differential pressure: 30mbar)
- 최고 사용 온도 : 220℃
- Shaft seal :
Bellows
- Heat type:
Cartridge heater
- Leak rate : He 5.0E-8 mbar. l/s
- O-ring : Kalrez,
Chemraz
- TC
: K-type Dual
- Size : 300mm
제품상세
