제품소개
제품소개HIGH TEMP APC VALVE
제품적용
- Pressure control
valve
- Valve 내벽 powder 생성 방지
- 반도체 , FPD, etc
제품사양
-Butterfly 구동 : Motor control
- Working pressure
: 1mtorr ~ ATM
- 최고 사용 온도 :
200℃
- Shaft seal :
O-ring
- Heat type :
Cartridge heater
- Leak rate : He 5.0E-8 mbar. l/s
- O-ring : Kalrez, Chemraz
- TC : K-type Dual
- Port size/Angle :
NW50/180˚
제품상세
